前 言 |
KD-8910化銅為一低溫度,高沉積速率之化銅液,適用于鍍通孔制程,其沉積銅層純度高、平整、細密均勻,而且沉積銅層具光澤度。此化銅制程比一般市售傳統化銅制程在制程上更為簡單容易,且在廢水處理上的費用也較低。 |
建 浴 |
純水 80%(槽體積)
KD-8910M 12%
KD-8910B 0.05%
KD-8910A 6%
24%甲醛 18ml/L
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操作條件 |
溫 度 320C(30--350C)
槽 體 PP、PE、PVC
過 濾 PVC, CPVC,PP 泵,管線及接頭,10 micron PP過濾袋
加 熱 管: 可使用低瓦數之鐵氟龍加熱器或蒸氣線圈加熱器
攪 拌 循環及空氣攪拌
回 圈 量 3-4 Turn/小時
排 氣 需要
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槽液管理 |
1. 操作法
主要成分控制
銅 含 量 2.0-2.8g/L
游離NaOH 8-10g/L
游離HCHO 16-22g/L |
包裝 |
20升/塑膠桶 或 25升/塑膠桶 |
注意事項 |
1 此藥品為腐蝕性液體,避免直接接觸,操作時請戴護目鏡,防護手套,如不慎接觸皮膚,立刻用大量清水沖洗,濺入眼中,請立即用大量清水沖洗并就醫。
2 保存于陰涼處,避免陽光直曬。
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